博為光電|精度高-真空箱氦檢漏系統(tǒng)價(jià)格-合肥真空箱氦檢漏系統(tǒng)

雙工位氦檢漏系統(tǒng)構(gòu)成
（1）粗抽機(jī)組：一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用，獲得從一個(gè)大氣壓到千帕級(jí)真空，并為后續(xù)精抽真空作準(zhǔn)備。
（2）精抽機(jī)組：一般采用羅茨泵作為精抽真空使用，獲得檢漏要求的真空，一般為5pa左右。
（3）檢漏儀：是檢漏系統(tǒng)中的部件，檢漏儀執(zhí)行檢漏工作時(shí)，給出工件*量大小，并判斷工件是否合格，輸出控制信號(hào)。
（4）耐壓測試單元：通過向工件內(nèi)充注高壓氣體，一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程，有傳感器感測壓力差，并由控制系統(tǒng)經(jīng)過計(jì)算分析判斷是否有大漏。
（5）工件抽空單元：為保證氦氣有循環(huán)過程中氦氣的純度，合肥真空箱氦檢漏系統(tǒng)，在向工件充注氦氣之前，抽出工件內(nèi)的空氣。
氦質(zhì)譜檢漏方法分析
氦質(zhì)譜檢漏是以氦作探索氣體，對(duì)各種需密封的容器的漏隙進(jìn)行快速定位和定量檢測的理想方法。氦質(zhì)譜檢漏法有優(yōu)點(diǎn)在于：①氦是惰性氣體，對(duì)大氣*，使用安全；②氦原子質(zhì)量小，黏度小，易滲透過可能存在的漏隙。③氦氣在大氣中含量?。?ppm），不易受干擾。④氦質(zhì)譜檢漏儀檢測靈敏度高，速度快，適用范圍廣；
目前國內(nèi)生產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀小可檢漏率可達(dá)到5.0×10-12 pa·m3/s，如北京中科科儀生產(chǎn)的542檢漏儀。國外檢漏儀小可檢漏率高可達(dá)到5.0×10-13pa·m3/s，如德國inficon，真空氦檢漏系統(tǒng)，法國阿爾卡特等。
目前，國內(nèi)外比較流行的針對(duì)空調(diào)兩器檢漏方法，多采用真空箱法。后續(xù)將著重介紹真空箱法檢漏在空調(diào)兩器檢測方面的應(yīng)用。
背壓法氦質(zhì)譜檢漏
采用背壓法檢漏時(shí)，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，真空箱氦檢漏系統(tǒng)價(jià)格，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，真空箱氦檢漏系統(tǒng)哪家好，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過漏孔泄漏到真空容器，再進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計(jì)算出被檢產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)漏率。
背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測靈敏度高，能實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進(jìn)行批量化檢測。
背壓法的缺點(diǎn)是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導(dǎo)致加壓時(shí)間太長。此外，每個(gè)測量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)漏率，在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能。
背壓法的檢漏主要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏
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