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工藝卡點特性
1.提高產(chǎn)品成品率:硅片裝夾牢固,減少掉片現(xiàn)象,減少氮化硅的色差片,提高了成品率。
2.工藝點鉤點小,新的圓形工藝點在硅片上的鉤點面積是1.472mm2,新的菱形工藝點鉤點面積是0.619mm2。
3.使用壽命長。
4.采用sgl高純石墨,純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長。

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