小型磁控濺射鍍膜儀的功能特點(diǎn)
小型磁控濺射鍍膜儀是一種常用的薄膜制備設(shè)備,其功能特點(diǎn)如下:
可制備多種材料薄膜:小型磁控濺射鍍膜儀可以制備多種材料的薄膜,包括金屬、合金、氧化物、氮化物等。并且可以在同一設(shè)備中制備多種材料的復(fù)合薄膜,具有很高的靈活性。
鍍膜質(zhì)量高:小型磁控濺射鍍膜儀采用磁控濺射技術(shù),可以制備非常高質(zhì)量的薄膜。由于采用了高真空環(huán)境,可以避免與空氣中的雜質(zhì)反應(yīng),從而獲得高純度的薄膜。
薄膜厚度均勻:小型磁控濺射鍍膜儀可以通過調(diào)節(jié)沉積速率和旋轉(zhuǎn)基板等參數(shù),獲得非常均勻的薄膜厚度。在一定范圍內(nèi)可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別的薄膜厚度控制。
設(shè)備體積小、占地面積小:相對(duì)于大型的磁控濺射設(shè)備,小型磁控濺射鍍膜儀體積小、占地面積小,適合實(shí)驗(yàn)室研究或小批量生產(chǎn)。
操作簡(jiǎn)單,易于維護(hù):小型磁控濺射鍍膜儀操作簡(jiǎn)單,只需要進(jìn)行基本的真空泵、電源等調(diào)節(jié),就能夠開始制備薄膜。同時(shí),小型磁控濺射鍍膜儀維護(hù)比較簡(jiǎn)單,一般只需要進(jìn)行定期的清潔和保養(yǎng)。
可以進(jìn)行復(fù)雜結(jié)構(gòu)薄膜的制備:小型磁控濺射鍍膜儀可以制備一些復(fù)雜結(jié)構(gòu)的薄膜,如多層膜、納米線膜、納米顆粒膜等。這些復(fù)雜結(jié)構(gòu)薄膜在很多領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。
綜上所述,小型磁控濺射鍍膜儀具有制備多種材料薄膜、鍍膜質(zhì)量高、薄膜厚度均勻、體積小、操作簡(jiǎn)單、易于維護(hù)等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室研究和小批量生產(chǎn)。
武漢維科賽斯科技有限公司專注于小型電阻蒸發(fā)鍍膜儀,小型磁控濺射鍍膜儀,桌面型真空鍍膜儀等