NE-Q05納恩科技5L真空不銹等離子清洗機(jī)

ne-q05是一款石英真空等離子處理系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。小型石英等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)主要包括控制單元、石英真空腔體、真空泵三部分。等離子清洗機(jī)的工作流程為：腔體抽真空—充入工藝氣體—電離工藝氣體并清洗—去除工件。清洗首先在真空腔體內(nèi)單種或者多種清洗所需氣體，一般為ar、o2、n2等，外加射頻功率在平行電極之間形成交變電場，電子通過電場加速對工藝氣體進(jìn)行沖擊使氣體發(fā)生電離形成離子，作用在被清洗表面，電離產(chǎn)生的粒子與電子數(shù)量達(dá)到一定規(guī)模，便形成了等離子體。等離子體高速撞擊材料表面，與被清洗表面污染物發(fā)生理化反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)材料的清洗，并利用氣流將污染物排出腔體。通過等離子清洗可以有效清除被清洗表面污染物、改善表面狀態(tài)、增加材料的粘附性能、提高材料表面的浸潤性能。
ne-q05 系統(tǒng)功能特點(diǎn)：
•真空腔體材質(zhì)采用石英玻璃，不易與材料表面發(fā)生反應(yīng)，污染清洗樣品
•等離子發(fā)生器采用13.56mhz射頻發(fā)生器，自動阻抗匹配調(diào)諧
•觸摸屏用戶界面+plc控制，可儲存多條工藝程序，全自動運(yùn)行
•配備兩路氣路通道，氣體流量可調(diào)，無需再搭配氣體混合儀
•整體外觀處理工藝、機(jī)架門板烤漆、耐用、防刮
•鋁合金自動門：氧化處理、噴砂、光潔高檔
•電路設(shè)計(jì)電流過載保護(hù)，模塊式電路、維修方便快捷
•手動、自動、真空保壓均可操作，不倒翁橡膠腳杯，自動平衡機(jī)器、減震
序號
項(xiàng)目
型號規(guī)格
參數(shù)
1
等離子體發(fā)生器
功率
0-200w可調(diào)
頻率
13.56 mhz 固態(tài)射頻電源
2
真空反應(yīng)腔室
腔體材質(zhì)
石英耐熱玻璃
腔體容積
5l
載物托盤
玻璃托盤，平行放置
腔體直徑（圓形）
φ150×270（d）mm
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器，0-500ml
氣路數(shù)量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣，四氟化碳?br>4
真空測量
真空計(jì)
smc 真空計(jì)
5
抽氣系統(tǒng)
真空泵
飛越 8m³/h
極限真空度
0.1pa
6
控制系統(tǒng)
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設(shè)計(jì)等離子控制系統(tǒng)
7
場務(wù)條件
電源供應(yīng)
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機(jī)參數(shù)
整機(jī)功率
1000w
外形尺寸
500mm(l)×480mm(w) ×560 mm(h)
重量
40kg