半自動(dòng)晶圓切割機(jī)STK-7020
貼膜機(jī)-半自動(dòng)晶圓切割機(jī)stk-7020
半自動(dòng)晶圓切割機(jī)/貼膜機(jī)stk-7020規(guī)格參數(shù):
晶圓直徑:8”&12”晶圓;
厚度:150 ~750 微米;
晶圓種類:硅、砷化鎵或其它材料;
單邊,雙邊,v 型缺口
膜種類:藍(lán)膜或者 uv 膜;
寬度:300~400 毫米;
長(zhǎng)度:100 米;
厚度:0.05~0.2 毫米;
晶圓承載環(huán):8”disco 或者 k&s 標(biāo)準(zhǔn);
12”disco 或者 k&s 標(biāo)準(zhǔn);
客戶制定標(biāo)準(zhǔn);
貼膜原理:防靜電滾輪貼膜;
晶圓臺(tái)盤:通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤;或硅膠臺(tái)盤;或多孔金屬臺(tái)盤;或陶瓷臺(tái)盤;
裝卸方式:晶圓/承載環(huán)手動(dòng)放置與取出;
防靜電控制:防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器;
切割系統(tǒng):手動(dòng)軌跡式圓切刀和直切刀;
晶圓定位:通用標(biāo)線/彈簧定位銷;
控制單元:基于 plc 控制,并配有 5.7”觸摸屏;
安全防護(hù):配置緊急停機(jī)按鈕;
電源電壓:?jiǎn)蜗嘟涣麟?220v,6a;
壓縮空氣:5 公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2 立方英尺;
機(jī)器外殼:白色噴塑金屬外殼;
體積:670 毫米(寬)x1180 毫米(深)x550 毫米(高);
凈重:80公斤;
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