浙江鋰電氦檢專機(jī)維修-博為光電(推薦商家)

氦質(zhì)譜檢漏的具體方法——背壓法
背壓法是真空系統(tǒng)檢漏中的基礎(chǔ)方法之一，結(jié)合了壓力檢漏與真空檢漏兩者的特點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏中，背壓法的應(yīng)用原理也是一樣的，今天就和華爾升智控一起看下氦質(zhì)譜檢漏方法中的背壓法。
背壓氦質(zhì)譜檢漏法是一種適用于容積較小被檢件的檢漏方法，例如半導(dǎo)體一類(lèi)真空密封器件的無(wú)損檢漏。它的檢漏過(guò)程與其他背壓法一樣包括3個(gè)步驟：充壓、凈化、檢漏。
充壓過(guò)程中，被檢件在充有高壓氦氣的容器中存放一定時(shí)間，使氦氣經(jīng)漏孔進(jìn)入被檢件內(nèi)部，并隨著時(shí)間的增長(zhǎng)，其內(nèi)部的充氣壓力及氦分壓會(huì)逐漸；進(jìn)入凈化階段后，用干燥氮?dú)獾葲_刷，或通過(guò)靜置手段去除吸附在被檢件外表面的氦氣；將被檢件放入真空室并將真空室抽成真空狀態(tài)，利用壓差作用使被檢件內(nèi)部的氦氣流出進(jìn)入檢漏儀，檢漏儀輸出指示判定漏孔的存在及其漏率。
相信不少人可以看出背壓法不適合用于有大漏孔的被檢件。因?yàn)槿绻┛走^(guò)大，在凈化階段，充入被檢件內(nèi)部的氦氣會(huì)流失得很快，凈化的時(shí)間越長(zhǎng)，流失得就越嚴(yán)重，會(huì)導(dǎo)致檢漏儀的輸出指示降低，鋰電氦檢專機(jī)維修，造成漏孔漏率很小的假象，甚至檢測(cè)不出漏孔。因此在使用背壓氦質(zhì)譜檢漏法時(shí)，除了避免用于大漏孔的被檢件檢漏外，還要注意適當(dāng)充氣壓力、延長(zhǎng)在高壓氦氣中的浸泡時(shí)間，同時(shí)縮短凈化時(shí)間，來(lái)提高檢漏靈敏度。
怎么樣影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度
溫度對(duì)檢測(cè)的影響
對(duì)于處于密閉容器的氣體而言，當(dāng)溫度升高時(shí)，其內(nèi)部的壓力也隨之升高。因而溫度的變化不可避免地成為影響壓力變化的重要因素。一般估計(jì)這種影響的范圍大致在溫度每變化1℃引起的壓力變化為0.36%的測(cè)量壓力值。因而，隨測(cè)試壓力的提高，溫度的影響會(huì)變得明顯。
受到檢測(cè)容積的影響
在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測(cè)容積*的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測(cè)量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測(cè)量容積，那么可能會(huì)無(wú)法達(dá)到測(cè)量需要的度和靈敏度。
單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀
在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速*組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由*柵、收集*及高阻組成收集器；放大靜電計(jì)管和冷陰*電離規(guī)。
在離化室n內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速*s1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可計(jì)算。
可見(jiàn)，當(dāng)b和u為定值時(shí)，不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑r不同。儀器的b和r是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓u使氦離子束恰好通過(guò)出口縫隙s2，到達(dá)收集器d，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái)；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的r值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙s2 ，所以被分離出來(lái)。 (me-1)2=4，即he 的質(zhì)荷比，除he 之外，c卅很少，可忽略。
浙江鋰電氦檢專機(jī)維修-博為光電(推薦商家)由安徽博為光電科技有限公司提供。浙江鋰電氦檢專機(jī)維修-博為光電(推薦商家)是安徽博為光電科技有限公司今年新升級(jí)推出的，以上圖片僅供參考，請(qǐng)您撥打本頁(yè)面或圖片上的聯(lián)系電話，索取聯(lián)系人：許經(jīng)理。