CDE-四點(diǎn)探針電阻儀-ResMap 178

cde-四點(diǎn)探針電阻儀-resmap 178
產(chǎn)品型號：resmap 178
產(chǎn)品介紹：cde 的成立旨在為半導(dǎo)體及相關(guān)開發(fā)和制造高性能、高性價(jià)比的晶圓計(jì)量工具。cde resmap是一系列適用于各種應(yīng)用的自動(dòng)電阻率測繪系統(tǒng)。4點(diǎn)探針測量工具是一種儀器，用于測量導(dǎo)電介質(zhì)（通常是半導(dǎo)體應(yīng)用的薄膜）中的薄層電阻（或rs）。resmap model 178已成為成本效益電阻率測量的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。該四點(diǎn)探針旨在滿足工藝開發(fā)和工具表征工程師的需求，具有所需的準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和可靠性。其龐大的安裝群證明了其性能、易用性和低擁有成本。
性能特點(diǎn)：
可靠性
易用性
參數(shù)：
產(chǎn)地：美國
晶片處理：手動(dòng)裝載
晶圓尺寸：2英寸至8英寸
尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
精度：<±0.5%
重復(fù)性：0.02%靜態(tài)，0.1%動(dòng)態(tài)
較小邊緣排除：<1.5mm
是否進(jìn)口：是
封裝：廠家制定
性能：良好
可靠性：高
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