HVA 真空閥門應(yīng)用于E-Beam鍍膜機(jī)

某sputtering + e-beam pvd鍍膜機(jī)系統(tǒng)采用hva真空閥門11000, hva真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時(shí)外系統(tǒng)停機(jī)時(shí)不破壞系統(tǒng)真空,只要對泵內(nèi)部進(jìn)行破真空即可.
hva不銹鋼真空閘閥11000系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:
閥門材質(zhì):
-閥門主體
304不銹鋼
-焊接波紋管軸封
am - 350
閥門密封方式
-高真空
氟橡膠
-高真空
銅墊圈/氟橡膠
真空:
-壓力范圍
高真空1x10-9mbar,高真空1x10-10mbar
-漏率
< 2x10-9mbar l/s
-差壓關(guān)閉
1 bar (任意位置)
-開啟前大壓力
≤30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
-彈性體密封閥蓋
150°c
-金屬密封閥蓋
-開啟溫度：200°c
-關(guān)閉值：150°c
-驅(qū)動方式
手動60 °c,氣動60 °c
機(jī)制
手動：
手搖曲柄
電磁閥供電電壓
120 vac 50 /60 hz
電磁閥可選電壓
24, 200, 240 vac 50/60 hz或12, 24 vdc
電磁閥位置指示器,大
115 vac或28 vdc, 20 ma
氣動送風(fēng)：
80 psig
使用壽命:100,000啟閉次數(shù)(具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑:dn 16 - 800 mm
e-beam鍍膜機(jī)設(shè)備組成:系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室,電子,進(jìn)樣室(可選) ,旋轉(zhuǎn)基片加熱臺,工作氣路,抽氣系統(tǒng),真空測量,電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺等部分組成.
基片在做實(shí)驗(yàn)般需要做鍍前預(yù)處理,鍍前預(yù)處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面,為后獲得高質(zhì)量鍍層作準(zhǔn)備,要進(jìn)行脫脂,去銹蝕,去灰塵等工作,也有客戶在loadlock腔進(jìn)行射頻反應(yīng)清洗,通過使用上海伯東kri離子源將基片的表層打掉,得到光滑和均勻的表面.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論,請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東:羅女士
伯東企業(yè)（上海）有限公司專注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,intest等