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真空泄漏中的實(shí)漏、虛漏、外漏、內(nèi)漏
實(shí)漏和虛漏
并非所有的抽氣時(shí)間延長(zhǎng)、*限壓力下降都是因?yàn)樾孤?，在使用檢漏儀檢漏前，有必要了解一下如何判斷真空設(shè)備是否真的發(fā)生了泄漏。
真空腔室的內(nèi)壁或腔室內(nèi)壁附著的污染物，在真空下持續(xù)的釋放出氣體，這種現(xiàn)象被稱為放氣。當(dāng)真空腔室內(nèi)部存在死空間，并且該死空間通過一個(gè)狹長(zhǎng)的通道與腔室內(nèi)部連通時(shí)，死空間內(nèi)的氣體在真空下也會(huì)緩慢的釋放出來，形成類似于放氣或泄漏的現(xiàn)象，通常把這種現(xiàn)象叫做虛漏。
真實(shí)的泄漏可以通過檢漏找到，放氣也可以通過清洗真空腔體內(nèi)表面而解決，而虛漏一旦產(chǎn)生，很難被發(fā)現(xiàn)，需要在設(shè)計(jì)和制造時(shí)盡量避免容易產(chǎn)生虛漏的結(jié)構(gòu)或工藝，如上圖中的螺紋連接（一定要用的話可以使用空心螺栓），很長(zhǎng)的狹縫或毛細(xì)管，兩側(cè)滿焊的腔體焊接（較厚的殼體建議真空側(cè)滿焊大氣側(cè)斷續(xù)焊）等等。
真空箱氦檢漏及回收系統(tǒng)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)
（1）氦氣充注及回收設(shè)計(jì)：首先、務(wù)必保證安全問題，因?yàn)樯婕暗礁邏簹怏w因此儲(chǔ)氣罐務(wù)必設(shè)置安全閥及壓力適時(shí)檢測(cè)裝置，氦質(zhì)譜真空檢漏，保證壓力容器安全。第二、壓力管道務(wù)必密封良好，防止充氣及回收過程中空氣混入到系統(tǒng)中，造成氦氣純度下降。第三、需要有氦氣濃度檢測(cè)裝置，泉州真空箱氦檢漏系統(tǒng)，保證在氦氣壓力及純度達(dá)不到要求時(shí)，補(bǔ)充新鮮的氦氣。第四、具備慮油裝置，防止氦氣增壓泵以及真空泵中的油蒸汽進(jìn)入氣罐，污染系統(tǒng)。
（2）抽空系統(tǒng)設(shè)計(jì)：抽空系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)本著適度、夠用、滿足需求原則。系統(tǒng)冗余過大，會(huì)導(dǎo)致制造成本偏高，也不離于節(jié)能環(huán)保。
真空系統(tǒng)的可允許漏氣率
真空系統(tǒng)的可允許漏氣率應(yīng)視其操作壓力范圍及應(yīng)用的需要而定，真空氦檢漏系統(tǒng)，以下所列為以真空范圍的可允許漏氣率。
（1）粗略真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)操作壓力范圍為粗略真空，從大氣壓力1013mbar至1mbar；可允許漏氣率為1毫巴?公升/秒。
（2）中度真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)操作壓力范圍為中度真空，從1mbar至10-3mbar；可允許漏氣率為10-2毫巴?升/秒。
（3）高真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)操作壓力范圍為高真空，從10-3mbar至10-7mbar；可允許漏氣率為10-5毫巴?升/秒。
（4）超高真空系統(tǒng)
真空系統(tǒng)操作壓力范圍為超高真空，壓力低于10-7mbar；可允許漏氣率為10-9毫巴?升/秒
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