上海伯東Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro
pfeiffer殘余氣體分析儀prismapro上海伯東德國 pfeiffer殘余氣體分析儀(四級桿質(zhì)譜儀)集高靈敏度, 高穩(wěn)定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 pv massspec, 可定量定性評估真空系統(tǒng)中的殘余氣體成分. *低可檢測分壓 3 x10-15hpa.pfeiffer殘余氣體分析儀 prismapro 特性:模塊化設(shè)計保證兼容性, json 編程界面和多種接口易于系統(tǒng)集成分析儀器和電子單元可靈活互換雙燈絲延長工作時間*低可檢測分壓 3 x10-15hpa可直接連接真空計, 方便測量壓力氣密離子源型號可選, 適合與進氣系統(tǒng)組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點.
pfeiffer殘余氣體分析儀prismapro技術(shù)參數(shù):
型號
qmg 250 f1
qmg 250 f2
qmg 250 f3
qmg 250 m1
qmg 250 m2
qmg 250 m3
檢測器
法拉第 faraday (f)
電子倍增器/法拉第 c-sem / faraday (m)
質(zhì)量數(shù) amu
1–100
1–200
1–300
1–100
1–200
1–300
四極桿直徑/長度
6 / 125 mm
*小檢測極限 f hpa *1,2
4x10-13
5x10-13
7x10-13
-
-
-
*小檢測極限 m hpa *1,2
-
-
-
3x10-15
4x10-15
5x10-15
對ar的靈敏度 f a/hpa*3
5x10-4
4x10-4
3x10-4
5x10-4
4x10-4
3x10-4
*大工作壓力 f hpa
5x10-4
*大工作壓力 m hpa
-
-
-
5x10-5
5x10-5
5x10-5
對臨近質(zhì)量數(shù)的影響*1
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
< 10 ppm
< 20 ppm
< 50 ppm
操作溫度 分析
200 °c (max. 150 °c when operating with sem)
操作溫度 電子
5 – 50 °c
烘烤溫度 分析
300 °c (移除電子模塊)
連接法蘭
dn 40 cf-f
保壓時間
1 ms – 16 s/amu
重量
2.5 kg
3.2 kg
*1開放式離子源*2停留時間 4秒*3與 c-sem相比, 具有較高的靈敏度pfeiffer 殘余氣體分析儀 prismapro 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口:pfeiffer 殘余氣體分析儀 prismapro 可擴展的通訊接口:
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