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振動標準,隔震等級,VC曲線

vc標準曲線(vc振動標準)由eric ungar和colin gordon于20世紀80年代初開發(fā)。它們較初是作為半導體、醫(yī)療和生物制藥行業(yè)振動敏感設備的通用振動標準而開發(fā)的,但現(xiàn)已廣泛應用于各種技術領域。vc振動標準采用了一組三分之一倍頻程頻帶速度譜的形式,以及**標準化組織(iso)關于振動對建筑物內(nèi)人員影響的指導方針。該標準適用于在垂直和兩個水平方向測量的振動。對于某種用于安裝精密設備或儀器的地基,所測得的三分之一倍頻程速度譜曲線的所有頻率點必須落在振動等級(vc)曲線對應的標準曲線之下。
nist-a標準是為計量學而開發(fā)的,但在納米技術界很受歡迎。在一些低頻振動明顯的場所,nist-a標準很難達到?,F(xiàn)在,vc標準曲線已被全世界廣泛接受,可作為設計設施的基礎,以滿足一組對振動高度敏感的設備在一起使用時的要求。但實際上,vc-f之后的隔振等級vc曲線都不建議用作設計標準,僅用于評估。密歇根大學**低振動實驗室(ulvl)于2014年竣工。建成后,對**低振動實驗室箱體進行了振動調(diào)查。測量結果表明,即使只有一輛車在附近的街道上行駛,振動也**過了**低振動實驗室所需的nist-a規(guī)格。對于振動標準vc-m而言,目**般認為:vc-m是可測得的較低值,但現(xiàn)今還無法在此標準下進行準確的振動測量,因為現(xiàn)今較敏感的傳感器也因為傳感器的內(nèi)部噪聲而降低了靈敏度,無法達到vc-m振動等級的測量基準。
主動隔震臺一般能將隔震等級提升一級,例如使用kns的主動隔震臺后,vc-b提升到vc-c?,F(xiàn)如今,大部分的隔振臺的隔震等級都是vc-a、vc-b、vc-c,少數(shù)的主動隔振臺能到達vc-d的隔震效果。
k&s arismd振動標準可達vc-d,適用于電子顯微鏡(tem和sem),重量輕、結構緊湊的桌面主動隔振系統(tǒng),可抵消敏感設備的有害振動,降幅可達80%-90%。流線型設計使其能夠無縫地成為工作站環(huán)境的一部分,并且其簡單的組成不需要后續(xù)的調(diào)整。主動隔離范圍0.5-100hz,1hz時增益~8db,2hz時增益~20db。
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